Tantala mērķa materiālu pielietojuma jomas

Galvenokārt izmanto fiziskajā tvaiku pārklāšanā un citos procesos, izsmidzināšanas procesā atomi uz tantala mērķa virsmas tiek bombardēti un plānas plēves veidā uzklāti uz pamatnes, lai iegūtu vēlamo plānās kārtiņas materiālu.
Tantala kušanas temperatūra ir pat 2996 grādi, kas ļauj tantala mērķiem uzturēt labu struktūras stabilitāti augstas temperatūras izsmidzināšanas vidē, un tas nav viegli deformējams vai iztvaikojams. Blīvums parasti pārsniedz 16,6 g/cm³, kas var samazināt plaisāšanas vai deformācijas problēmas izsmidzināšanas laikā, vienlaikus samazinot daļiņu izšļakstīšanos un uzlabojot plēves kvalitāti. Izsmidzināšanas temperatūrā tas nav viegli gaistošs, nodrošinot minimālus mērķa materiāla zudumus izsmidzināšanas procesā un nodrošinot stabilus tantala atomus plānslāņa nogulsnēšanai.
Tantala ķīmiskās īpašības ir ļoti stabilas, un tas gandrīz nereaģē ar citām skābēm, izņemot fluorūdeņražskābi un karsti koncentrētu sērskābi. To var izmantot arī ilgu laiku skarbā ķīmiskā vidē, un no tā izgatavotajai tantala plēvei ir arī laba izturība pret koroziju. Tantala virsmai ir tendence veidot blīvu un stabilu tantala oksīda pasivācijas plēvi, kas var efektīvi novērst turpmāku oksidācijas koroziju un uzlabot materiāla kalpošanas laiku.
Pieteikuma lauks
Integrēto shēmu ražošanā tantala mērķmateriālus izmanto, lai sagatavotu difūzijas barjeras slāņus, novērstu vara starpsavienojumu difūziju silīcija substrātos, uzlabotu ierīces uzticamību un veiktspēju, kā arī tos var izmantot kā aizbīdņu materiālus vai daļu no metāla vārtiem MOSFET, kā arī kā kondensatora elektrodus augsta -blīvuma atmiņas ierīcēs, piemēram, DRAM.
Šķidro kristālu displeju (LCD) un organisko gaismas {0}diožu (OLED) ražošanā tantala mērķi tiek izmantoti, lai sagatavotu plānos plēves tranzistoru (TFT) elektrodus un vadu slāņus. To stabilitāte un vadītspēja palīdz uzlabot displeja kvalitāti. Turklāt tos var izmantot arī kā plānas plēves iekapsulēšanas slāņus OLED, lai pagarinātu ierīces kalpošanas laiku.
Augstas{0}}tīrības tantala plēvēm, ko izmanto optisko plēvju, piemēram, pretatstarojošu pārklājumu vai filtru, sagatavošanai, tām ir vienāds laušanas koeficients un laba izturība, un tās ir piemērotas precīziem optiskiem instrumentiem, piemēram, kameru lēcām un lāzerierīcēm. Ķīmiskajā, naftas, jūras un citās vidēs pretkorozijas pārklājumi, kas izgatavoti no tantala mērķa materiāliem, var efektīvi aizsargāt iekārtas, cauruļvadus un konteinerus no korozijas.